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第555章 EUV光刻机？震惊众人！（第2页）

“但是他的很多功能却是EUV光刻机都没有的，光刻机的架构也更加巧妙。”

这位教授说的话，其他几个人都非常清楚的听见了。

就在这个时候，这位教授好奇地看向孙坚：“孙总，这台光刻机的制程是多少？到底是不是EUV光刻机？”

听见这位教授询问的，其他人也一脸好奇地看向孙坚，想要从孙坚的口中听见结论。

陈敏没想到，眼前的几位教授都看不出来这台光刻机的来历。

要知道，眼前这几位教授，已经是国内顶尖的专家了。

他们虽然没有见过EUV光刻机，但是对于EUV光刻机还是知道一些情况的。

只是他们都没有办法搞清楚眼前这台光刻机的情况，现场也就只有孙坚可以解释一下这台光刻机的各项性能了。

孙坚见大家一脸期待地看向他，笑着介绍道：“这台光刻机就是我们星海科技最新研发的EUV光刻机。”

“这台光刻机的制程达到了5纳米的水平，已经赶上目前世界上最先进的EUV光刻机了。”

听见孙坚的话清楚的从耳边传出，众人还是有些不相信。

所以当孙坚说完这句话之后，在场的众人好几分钟没有说话。

他们一直在消化孙坚话中的内容，反复思考这个难以置信的信息。

而且孙坚说出来的时候没有思考和犹豫，表现的非常云淡风轻。

好像在孙坚的眼中，眼前的这台光刻机就像是一台非常普通、可有可无的普通机器一样。

这样一来，就让他们更加难以置信了。

要知道，ASmL研发EUV光刻机是一个历经多年、汇聚多方力量的过程。

20世纪80年代中期，EUV光刻技术研究起步。

1997年，ASmL聘请Josbenschop启动EUV计划。

1998年，ASmL与德国蔡司和牛津仪器公司成立了“EUcLIdES”欧洲工业研发联盟，共同推进EUV技术研发。

1999年，ASmL和EUcLIdES与阿美莉卡EUVLLc联手，加速技术开发。

直到2000年，Jos在SpIE上展示EUcLIdES计划的第一个结果。

2001年，ASmL分配少量资源构建EUV原型系统。

2006年，第一批EUV原型机被运往比利时的imec和纽约奥尔巴尼的SUNY，用于了解EUV技术及其在半导体制造中的应用。

2010年，ASmL向泡菜国三星研究机构运送了第一台twINScANNxE:3100预生产EUV系统，并在平安夜实现了“第一道光”。