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第555章 EUV光刻机？震惊众人！（第1页）

一位专家瞬间认出了眼前这台光刻机的来历。

一时之间，他没有注意旁边还有其他人，就惊叫了出来。

说完这句话，这位教授立马走向眼前这台光刻机。

而在一旁，其他人也听见了这位教授的声音。

顺着声音，他们就见教授二话没有说就一个人走了出去。

其他几位教授注意到了，也跟着往前走去。

陈敏长官和孟旭互相看了眼，然后又看了眼孙坚。

只见孙坚伸出手，摆出请的手势。

三个人也跟着几位教授，来到了这台光刻机前。

“孟旭，刚才那位教授说的是EUV光刻机对吧？”

陈敏长官有些不确定自己听见的是否是这样的，所以向孟旭询问道。

孟旭听后点点头，他确定刚才教授说的是EUV光刻机。

陈敏听后，倒吸了一口凉气。

要知道，ASmL最初的EUV光刻机是2010年推出的twINScANNxE:3100。

当时该机型主要用于研发，其制程可实现14纳米及以下制程。

这款光刻机数值孔径为0。25，光源功率较弱，最佳状态时只能输出10瓦。

后续ASmL推出的EUV光刻机在制程能力等方面不断提升，如NxE:3400b系列可对应7纳米制程。

如果星海科技制造出来了EUV光刻机，就意味着星海科技的这台光刻机，性能最差也可以做到14纳米制程。

仅仅是这个光刻机，如果真的如教授说的，那就意味着星海科技真的解决了他们国家卡脖子的问题了。

陈敏在一旁等待着，想听听几个教授的意见。

这个时候还是不能高兴太早，不然容易乐极生悲。

孙坚笑着看着眼前的一幕，丝毫不在意几位教授对着眼前的光刻机进行研究。

就在这个时候，首先发现EUV光刻机的那位教授说话了。

“奇了怪了，这台光刻机各项功能看着就是EUV光刻机。”

“但是他的很多功能却是EUV光刻机都没有的，光刻机的架构也更加巧妙。”