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第553章 陈敏到来！专家的质疑！（第2页）

是全球唯一能供应7nm以下芯片制造所需EUV光刻机的企业。

这还是东大取巧，使用了多重曝光技术，才可以做到28nm。

别看28nm和3nm好像差别不大，其实双方的差距是天差地别的。

除了制程上的差异外，在其他方面也有非常大的差距。

比如在设备性能与技术指标上，国外先进光刻机在光源技术、镜头精度等关键技术指标上优势明显。

ASmL的EUV光刻机光源能达到极紫外波段，且精度控制极高。

而东大光刻机在光源功率、光束稳定性以及镜头的分辨率、套刻精度等方面，与国外先进水平存在差距，影响了整体光刻精度和芯片制造良率。

全球光刻机市场当时基本由荷兰ASmL、小日子尼康和佳能公司垄断，2020年这三大厂商出货光刻机413台，ASmL占258台。

东大光刻机市场占有率较低，且产业链上下游协同不足，关键零部件如高端镜头、光源等依赖进口，产业生态不完善。

当然了，造成这种结果的原因，根本还是早期的时候，研发能力与资金投入差距较大。

ASmL拥有大量研发人员和博士，每年投入营收的10%-15%作为研发资金。

2020年其第三季度研发费用达5。34亿欧元，占总营收的13。49%。

东大光刻机企业研发投入相对较少，整体研发实力和技术储备不足，制约了技术进步速度。

所以，虽然时间已经来到2020年了。

但是东大在光刻机上依然是比较落后的。

东大生产一台28nm制程的光刻机，就已经是东大最先进的。

而在国际上，这个制程的光刻机其实是比较落后的。

所以在陈敏这个外行人看来，如果星海科技凭借自己的实力生产出了光刻机，不管是什么制程的，都已经非常不可思议了。

ASmL的光刻机是全世界共同出力才制造出来的。

而星海科技凭借一己之力，就已经是非常大的胜利了。

只是在当初电话中听了孟旭的介绍后，好像事情还不仅仅是这样的。

对于星海科技的光刻机，孟旭不清楚，陈敏长官也不清楚。

所以他这一次过来特地带来了几个专家，来看看星海科技的光刻机到底是什么情况。

“你刚才说星海科技做的是全产业链的芯片工厂？”